5月24日,由中國(guó)半導(dǎo)體協(xié)會(huì)、青海省經(jīng)濟(jì)和信息化委員會(huì)主辦,黃河公司承辦的“集成電路硅材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展座談會(huì)”在青海西寧舉行并取得圓滿成功。
青海省副省長(zhǎng)、工業(yè)和信息化電子司副司長(zhǎng)、國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司總工程師三人出席會(huì)議并致辭。會(huì)上,黃河公司進(jìn)行了國(guó)產(chǎn)高純電子級(jí)多晶硅產(chǎn)品的發(fā)布,并分別與浙江金瑞泓科級(jí)股份有限公司、有研半導(dǎo)體材料有限公司、麥斯克電子材料有限公司簽署合作協(xié)議。會(huì)議期間,全體與會(huì)代表參觀了黃河龍羊峽水電站、龍羊峽水光互補(bǔ)光伏電站及新能源分公司多晶硅生產(chǎn)線。
一直以來(lái),中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中關(guān)鍵的上游半導(dǎo)體硅材料和硅片長(zhǎng)期受制于國(guó)外壟斷,嚴(yán)重影響我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)、新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)、新能源產(chǎn)業(yè)、新材料產(chǎn)業(yè)的發(fā)展?!包S河水電多晶硅”的批量生產(chǎn),打破了國(guó)外巨頭壟斷和國(guó)家集成電路基礎(chǔ)原材料全部依賴進(jìn)口的局面,為國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)原材料戰(zhàn)略安全提供了保障。
“黃河水電多晶硅”項(xiàng)目采用改良西門(mén)子法,年產(chǎn)達(dá)2500噸電子級(jí)多晶硅,實(shí)現(xiàn)完全閉路循環(huán),節(jié)能低耗、安全環(huán)保。其中,冷氫化四氯化硅轉(zhuǎn)化率達(dá)到國(guó)內(nèi)最高水平;還原爐回收尾氣經(jīng)處理后,完全實(shí)現(xiàn)閉路循環(huán)生產(chǎn);產(chǎn)品后處理采用全程潔凈環(huán)境流水線。項(xiàng)目納入中國(guó)第一批符合《多晶硅行業(yè)準(zhǔn)入條件》,并成功申請(qǐng)了《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝(02專項(xiàng))》工作;采用世界一流的標(biāo)準(zhǔn)化專業(yè)廠房,具備成熟的潔凈生產(chǎn)技術(shù),進(jìn)行原輔材料、生產(chǎn)過(guò)程以及最終成品的檢測(cè)控制。擁有國(guó)內(nèi)唯一一家能夠涵蓋電子級(jí)多晶硅材料全部檢測(cè)項(xiàng)目的綜合實(shí)驗(yàn)室,獲得國(guó)內(nèi)首家CNAS認(rèn)可。
經(jīng)過(guò)多年生產(chǎn)實(shí)踐,“黃河水電多晶硅”形成了獨(dú)有的技術(shù)優(yōu)勢(shì),產(chǎn)品指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平,其中氧含量<0.02ppma,碳含量<0.02ppma,受主雜質(zhì)<0.03ppba,施主雜質(zhì)<0.05ppba,基體總金屬雜質(zhì)<2ppbw,經(jīng)第三方權(quán)威檢測(cè)機(jī)構(gòu)檢測(cè),產(chǎn)品質(zhì)量與德國(guó)、日本知名多晶硅質(zhì)量相當(dāng)。
目前,“黃河水電多晶硅”已經(jīng)得到下游客戶的廣泛認(rèn)可,產(chǎn)品用于生產(chǎn)3至8英寸重?fù)健⑤p摻拋光片和外延片,經(jīng)過(guò)12英寸拋光片質(zhì)量評(píng)估,與國(guó)外產(chǎn)品質(zhì)量無(wú)差異,完全可替代進(jìn)口產(chǎn)品,“黃河水電多晶硅” 打響了民族品牌。
“黃河水電多晶硅”致力于核心技術(shù)研發(fā)和質(zhì)量提升,以創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)引領(lǐng)未來(lái)發(fā)展,努力將國(guó)內(nèi)電子級(jí)多晶硅市場(chǎng)占有率提升至30%以上,力爭(zhēng)成為全國(guó)重要的集成電路材料生產(chǎn)基地和行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)。未來(lái),黃河新能源分公司將為建設(shè)資源節(jié)約型、環(huán)境友好型企業(yè),持續(xù)向客戶、社會(huì)提供高品質(zhì)的電子級(jí)多晶硅產(chǎn)品,為集成電路原材料國(guó)產(chǎn)化續(xù)寫(xiě)新篇章。